Kleine Pixel – hohe Auflösung

Ophir Beam Profiler von MKS für grosse und divergente Strahlen

Die Ophir SP504S Strahlprofilkamera MKS Instruments. (Bildquelle: @Ophir)

MKS Instruments stellt die Ophir® SP504S Strahlprofilkamera zur Messung des Strahlprofils vor. Der Vorteil der neuen Kamera liegt vor allem in der industrieweit geringsten Pixelgröße: Sie ist mit nur 4,5 µm bis zu dreimal kleiner als vergleichbare Wettbewerbs-Modelle. Die Strahlprofilkamera liefert damit eine höhere Auflösung bzw. ermöglicht die Messung und Verfolgung von Strahlen mit kleinerem Strahldurchmesser während weite und divergente Strahlen durch die große Messfläche ebenfalls erfasst werden. Die Ophir® SP504S Strahlprofilkamera eignet sich für Wellenlängen zwischen 340 und 1100nm, misst Strahlen mit einem Durchmesser zwischen 45 µm und maximal 23 mm und bietet einen weiten dynamischen Bereich von 44,6 dB. Signale bis hinunter auf eine Leistungsdichte von 0,25 nW/cm2 werden präzise und zuverlässig erfasst. Die Anwendungsbereiche des Messgeräts sind dementsprechend sehr vielfältig; sie reichen von der Lasermaterialbearbeitung über die Entwicklung von Produktion von VCSEL und LEDs bis zu Anwendungen in der ästhetischen Medizin.

“Laserhersteller müssen zunehmend kleine Merkmale in einem großen divergenten Strahlbereich finden, wie z. B. bei der Halbleiterherstellung”, so Reuven Silverman, General Manager von Ophir Photonics. “Die SP504S Strahlprofilkamera kann solche Strahlen mit Durchmessern von bis zu 23 mm erfassen und genau analysieren. Zuvor mussten große Strahlen oft mit Optiken reduziert werden, so dass der Strahl den Bildsensor der Kamera nicht überfüllt. Dabei besteht jedoch die Gefahr, dass eine Optik im Strahlengang die räumlichen Eigenschaften des Strahls verfälscht. Dank des großen Abbildungsfeldes und der hohen Auflösung der SP504S Strahlprofilkamera müssen die Strahlen für die Messung nicht mehr verkleinert werden.”

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Die Ophir SP504S Strahlprofilkamera kombiniert einen großen 32,5 mm CMOS-Sensor, der als “Global Shutter” alle Pixel gleichzeitig auslesen kann, mit hoher Auflösung. Die Kamera verfügt über ein kompaktes Design mit einem Gewindeadapter, der Industriestandardgewinde 2,035″-40 für 2″-Optiken und Zubehör enthält. Stapelbare ND1-, ND2- und ND3-Filter sind ebenfalls vorhanden. Die GigE-Schnittstelle der Strahlprofilkamera ermöglicht eine Fernverbindung für industrielle Anwendungen.

Die Ophir SP504S Strahlprofilkamera wird von der BeamGage Standard sowie der BeamGage Professional Software von Ophir unterstützt. BeamGage basiert auf dem patentierten UltraCal Algorithmus. Er ermöglichte es, den ISO11146-3 Standard für die Genauigkeit von Strahlprofilmessungen umzusetzen. Die BeamGage Software beinhaltet alle Berechnungen, um präzise ISO-konforme Messwerte zu liefern; darunter Leistung, Strahldurchmesser und -form, Divergenz, Strahlprofil und erwartete Leistungsverteilung. Die Software bietet eine fortschrittliche Bildverarbeitung und liefert NIST-rückführbare Leistungsmessungen, Trenddiagramme, Datenlogging, Produktionstests OK/NOK sowie mehrsprachige Unterstützung. Weitere Informationen zu neuen Ophir Strahlprofilkamera und Lasermesstechnik finden Sie unter www.ophiropt.com

Über MKS Instruments
Spectra-Physics, Ophir, Newport und ESI sind Marken innerhalb der MKS Instruments Photonics Solutions Division. Das umfangreiche Lösungsspektrum umfasst Laser für industrielle Präzisionsanwendungen und wissenschaftliche Forschungszwecke, Laserstrahlanalyse-Systeme, Präzisionsbewegungssteuerungen, optische Tische und Schwingungsisolationssysteme, photonische Instrumente, Temperaturmessgeräte sowie optische und optomechanische Komponenten. Darüber bietet MKS Systeme für die Laserbearbeitung von flexiblen Leiterplatten, Hochgeschwindigkeits-MLCC-Tests und CO2-Laser-basierte Systeme für die Herstellung von HDI-Leiterplatten und IC-Substraten. Die Lösungen von MKS Photonics Solutions verbessern die Fähigkeiten und die Produktivität unserer Kunden in der Halbleiterindustrie, der modernen Elektronik und der Spezialindustrie. Weitere Informationen finden Sie unter http://www.mks.com

Über Ophir
Ophir ist eine Marke der MKS Photonics Solutions Division. Das Ophir Produktportfolio umfasst Messtechnik für Laser und LEDs, darunter Leistungs- sowie Energiesensoren und Strahlprofilmessgeräte, die Laser von fW bis Hunderten von Kilowatt messen, sowie leistungsfähige optische Elemente für IR- und sichtbares Licht. Ergänzt wird das Angebot mit IR-Wärmebild- und Zoomobjektiven für militärische und industrielle Anwendungen, hochwertige OEM- und Ersatzoptiken sowie Baugruppen für CO2- und Hochleistungs-Faserlaser zur Materialbearbeitung. Die modularen, individuell anpassbaren Lösungen optimieren die Produktivität der Anwender in der Halbleiterindustrie, der modernen Elektronik und der Spezialindustrie. Weitere Informationen finden Sie unter http://www.ophiropt.com

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